Газовые системы и оборудование для микроэлектроникиinfo@npp-uvn.ru+7 499 954-86-55

НПП «УВН» / Очистители SimPure

Чистота газа в точке процесса

Точечные очистители и централизованные системы SimPure. Подбираем технологию очистки по рабочему газу, составу примесей, расходу и требуемой чистоте.

Фото P9 иллюстрирует формат POU. Серии также включают другие исполнения; изображения и параметры конкретной модели уточняются при подборе.

ОБЗОР ЛИНЕЙКИ / КАТАЛОГ 2025

От локальной очистки
до непрерывного газоснабжения

Характеристики для первичного выбора серии. Диапазоны не означают совместимость каждой модели со всеми газами.
СерияНазначениеОстаточные примесиНоминальный расходТехнология
9NPТочечная очистка POU< 0,1 ppb для I / O / H1–2000 slmКатализ / адсорбция
P9Точечная очистка POU< 1 ppb для I / O / H2–1800 slmКатализ / адсорбция
9NGГеттерная очистка< 1 ppb по таблице газовПо газу и моделиВысокотемпературный геттер
9NSРегенерируемая система< 1 ppb по таблице газов10–20 000 Нм³/ч по исполнениюКатализ / адсорбция
9NS-IM / OM / CMУдаление метана< 1 ppb для указанных примесейПо газу и моделиКатализ + адсорбция
9NSGУдаление азота< 1 ppb по таблице газов10–300 Нм³/чАдсорбция + геттер
9NCSНизкотемпературная очистка H₂< 1 ppb для указанных примесей30–1000 Нм³/чАдсорбция с жидким азотом

Источник: SimPure 9N Series, 2025 ↗. I — N₂, Ar, He; O — O₂ и CDA; H — H₂. Показатели относятся только к примесям, указанным для выбранного газа и наполнителя. Для большинства представленных исполнений входная чистота — не ниже 99,999%; для 9NS-CM — не ниже 99,995%.

Для P9 каталог 2025 года указывает фильтр 0,0015 мкм, отдельный буклет — 0,003 мкм. Исполнение согласуется при заказе. slm — стандартные литры в минуту; Нм³/ч — нормальные кубические метры в час.

Каталоги производителя

Начнём с вашей задачи

Найдём решение
для вашего процесса.

Расскажите о процессе, рабочем газе, расходе и требованиях к чистоте. Поможем подобрать оборудование и состав инженерных работ.

Обсудить проект