Газовые системы и оборудование для микроэлектроникиinfo@npp-uvn.ru+7 499 954-86-55
Ионные источники
Источники напыления ↗

НПП «УВН»

Ионные источники

Подготовка и обработка поверхности

01

Фокусированный или многоканальный пучок

02

Протяжённый или кольцевой пучок

03

Интеграция в камеру

Запросить предложение ↗

Стоимость и срок поставки — после согласования комплектации.

ПОДБОР ОБОРУДОВАНИЯ

Конфигурация
под вашу технологию

Источники с азимутальным дрейфом электронов для очистки, активации и ионной обработки. Геометрия пучка выбирается по форме обрабатываемой зоны и технологической задаче.

Опции и варианты исполнения

  • Блок питания
  • Газовая линия
  • Система охлаждения
  • Крепление в вакуумной камере

Что необходимо для подбора

  • Рабочая среда или материал, входные параметры и требования к результату.
  • Требуемые режимы, производительность и критерии приёмки.
  • Инженерные коммуникации и ограничения площадки.
Скачать каталог ↓

Информация о линейке на сайте поставщика / изготовителя ↗

КОНФИГУРАТОР ЗАПРОСА

Соберите исходные
требования

Параметры и опции попадут в заявку. Инженер проверит совместимость и подготовит комплектацию и предложение.

Комплектация и услуги

Отметьте только то, что нужно включить в поставку или работы.

Начнём с вашей задачи

Найдём решение
для вашего процесса.

Расскажите о процессе, рабочем газе, расходе и требованиях к чистоте. Поможем подобрать оборудование и состав инженерных работ.

Обсудить проект